半導体の製造から衛星の地上観測まで
幅広い分野に貢献
RFとは、radio frequencyの略。
電磁波の一種で、ラジオ波・高周波と呼ばれることもあり、
無線通信の搬送波として利用できる周波数のものです。
一概にRFと呼ばれるものでも、
周波数や出力によってその効果は様々。
東京計器では、通信機器、半導体製造装置、材料分析装置、
化学反応装置、医療機器、宇宙関連機器など
幅広いフィールドに製品を展開しています。
ソリッドステートマイクロ波電源
半導体を製造する際、プラズマを用いて基板上に様々な物質を付着させたりエッチングで取り除いたりする。マグネトロンによってプラズマを発生させる方法が主流だが、東京計器の固体素子高出力発振器を使うことで、プラズマが安定し、より高精度な制御が可能に。半導体の微細化に貢献。他にも、情報通信分野や医療分野、宇宙分野で幅広く活用されている。
マイクロ波パワーアンプ
光学衛星が苦手とする夜間や曇り空の日の観測を可能にするマイクロ波を使ったSAR衛星。
マイクロ波パワーアンプはレーダー信号を地表へ向けて照射し、その反射波を受信できるレベルまで増幅する、小型SAR衛星の心臓部となるキーデバイス。
小型SAR衛星の製造・組立および
衛星搭載機器の設計・開発
那須工場内にクリーンルームを備えた宇宙棟を建設し、株式会社Synspectiveと小型SAR衛星の量産化に向けたパートナーシップを締結、協業を開始した。さらに、スタートアップ企業をはじめとする各社の衛星搭載機器の設計・開発・製造にも挑戦している。こうした協業を通じて、東京計器の宇宙事業の拡大を推進し、安全で安心な社会の実現に貢献する。