半導体の製造から衛星の地上観測まで
幅広い分野に貢献
RFとは、radio frequencyの略。
電磁波の一種で、ラジオ波・高周波と呼ばれることもあり、
無線通信の搬送波として利用できる周波数のものです。
一概にRFと呼ばれるものでも、
周波数や出力によってその効果は様々。
東京計器では、通信機器、半導体製造装置、材料分析装置、
化学反応装置、医療機器、宇宙関連機器など
幅広いフィールドに製品を展開しています。
ソリッドステートマイクロ波電源
半導体を製造する際、プラズマを用いて基板上に様々な物質を付着させたりエッチングで取り除いたりする。マグネトロンによってプラズマを発生させる方法が主流だが、東京計器の固体素子高出力発振器を使うことで、プラズマが安定し、より高精度な制御が可能に。半導体の微細化に貢献。他にも、情報通信分野や医療分野、宇宙分野で幅広く活用されている。