ソリッドステートマイクロ波発振器、RF電源

• 半導体増幅器（SSPA：Solid-State Power Amplifier）・半導体発振器（SSPO^🄬：Solid-State Power Oscillator）を使用した各種高周波電源を設計・製造・販売しています。
• 通信、レーダー、分析装置の分野でマイクロ波デバイスの実績が多数あり、変調などの各種信号処理・制御が可能です。今までマグネトロンが主流の加熱やプラズマ加工などの分野でも使用されています。

SSPA・SSPO^🄬の特長（マグネトロンとの比較）

＊SSPOは東京計器株式会社の登録商標です。

	マグネトロン	SSPA・SSPO🄬
電力制御	○	◎
周波数制御	△	◎
位相制御	△	◎
変換効率	◎	○
寿命	△	◎
価格	◎	△

マイクロ波出力スペクトラム波形

マグネトロン

SSPO

ソリッドステートマイクロ波電源 / マイクロ波発振器

ソリッドステートマイクロ波電源

周波数/出力		1kW	2kW	3kW
915MHz~2.5GHz
9GHz~10GHz

青帯をクリックすると製品ページへ遷移します。
お問合せの際はフォームに周波数と出力をご指定ください。

ソリッドステートマイクロ波電源

ソリッドステートマイクロ波電源(X帯150W)

ソリッドステートマイクロ波発振器（SSPO^®）

周波数/出力		50W		100W		200W		1000W
915MHz~2.5GHz

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お問合せの際はフォームに周波数と出力をご指定ください。

50W SSPO

100W SSPO

200W SSPO

ソリッドステートマイクロ波電源、マイクロ波発振器採用事例

• 半導体製造装置
• マイクロ波熟成装置
• プラズマ生成装置
• 大気圧プラズマ装置
• マイクロ波加熱装置
• ワイヤレス電力伝送装置
• 医療機器

あらゆる市場のお客様からご採用いただいております。

各種プラズマCVD/エッチング装置

 

フロー型マイクロ波合成装置


（サイダFDS様提供）